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按組分的性質(zhì)分類，大致分為三類，即單質(zhì)類氣體（O2、N2、Ar、H2、He）、化合物類氣體（SiH4硅烷、PH3磷烷、AsH3砷化氫、CO一氧化碳、B2H6乙硼烷、Hcl氯化氫、NH3氨、CF4四氟甲烷、SiF4四氟硅烷等）、混合物類氣體（SiH4+稀釋氣（Ar、N2）、PH3+稀釋氣（Ar、N2）、NH3+稀釋氣（Ar、N2）等）。

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