沉陽液態氣體純SF6氣體通常被認為是無毒的。 SF6在生產過程中會產生少量伴隨產品，其中S2F10被認為是劇毒氣體，但在純化處理后可以完全去除。盡管純SF6氣體是無毒的，但必須防止工作場所中SF6氣體的濃度升高到缺氧水平。 SF6氣體的密度約為空氣的五倍。如果SF6氣體泄漏，它將沉積在低洼的地方，例如電纜溝中。如果濃度過高，則有窒息的危險，在設計室內通風時必須考慮到這一點。 SF6氣體通過對流與空氣混合，但速度很慢。氣體混合后，會形成SF6和空氣的混合氣體，不會再次分離。嚴重的問題是，在電弧作用??下，SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等SF6的分解產物均具有很強的腐蝕性和毒性。有色氣體具有類似于SO2的刺激性氣味。它會在空氣中產生濕氣而產生煙霧，產生SOF2和HF。 SF4氣體可以被堿液或活性氧化鋁（Al2O3）吸收。 SF4氣體對肺有侵入性影響，并影響呼吸系統。其毒性等同于光氣。 S2F2（氟化硫），室溫下為無色氣體，有毒，刺激性氣味，在水存在下能完全水解形成S，SO2和HF。 S2F2對呼吸系統具有類似于光氣的破壞作用。 SF2（二氟化硫），化學性質極其不穩定，加熱時性能更活潑，易水解成S，SO2和HF。 SF2氣體可以被堿液或活性氧化鋁吸收。 SO2F2不易被活性氧化鋁吸收。 SO2F2是一種有毒氣體，可引起痙攣。危險是它沒有刺激性氣味，不會刺激鼻粘膜。因此，它被發現中毒后往往會很快死亡。